细粒多孔金刚石砂轮

水基磨削防失效

针对水基磨削环境导致低温陶瓷结合剂过早失效的问题,通过揭示化学-机械耦合失效机制,为提高砂轮服役稳定性提供新思路。

尹韶辉

Wear 2026

技术优势

水基冷却液对微纳多孔陶瓷结合剂的腐蚀作用随浸泡-磨削时间增加而加剧

结合剂-金刚石界面逐渐松动,局部力学性能持续下降,导致金刚石磨粒脱落增加

砂轮磨损率增加,材料去除率下降,晶圆表面粗糙度和总厚度变化劣化

主导失效模式从单一机械磨损过渡到化学-机械耦合失效