润滑下低损伤加工
液体润滑显著降低4H-SiC衬底加工中的摩擦与结构损伤，H2O2溶液比纯水更有利于表面氧化改性，但优势随载荷增大而减弱，为高效低损伤加工提供新思路。
Zhou, Yuqi · Kezhong, Xu · 吕葳杉 · Yuhan, Gao · 朱福龙
Wear 2024
液体润滑可降低4H–SiC与金刚石间的直接键合与机械作用，从而减小摩擦系数和结构损伤。
相比纯水，H2O2溶液更能促进SiC原子氧化，生成高价氧化物种，从而进一步改善摩擦学行为。
随着载荷增加，H2O2溶液与纯水在摩擦学行为上的差异逐渐减小，需在适当载荷范围内使用。