消相干微透镜阵列

均匀性提升至36.51%

通过改变微透镜阵列的间距与边界线倾斜设计,在不增加额外元件的情况下抑制激光干涉,获得更均匀的照明光场。

Jiahong, Liu · Hu, Jingpei · 李思坤 · 黄惠杰

Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers 2025

参数信息

非均匀性
36.51 %
能量利用率
83.90 %
间距变化幅度
0.03 mm
倾斜因子幅度
4 μm

技术优势

无需额外元件

仅通过优化微透镜阵列的间距均值和引入间距变化、边界线倾斜的设计自由度,在不增加任何光学元件的条件下实现消相干。

非均匀性达标

最优组合下非均匀性降至36.51%,满足自由光瞳整形模块的使用要求(非均匀性<40%)。

能量利用率高

消相干设计在降低非均匀性的同时保持83.90%的能量利用率,避免了性能提升与能量损失之间的折衷。

应用场景