蓝移窗口可调
用于915 nm半导体激光器腔面非吸收窗口的制备，简化工艺并降低成本。
He, Tianjiang · 刘素平 · 李伟 · 仲莉 · 马骁宇 · 熊聪 · 林楠 · Wang, Zhennuo
Journal of Semiconductors 2023
在初次外延结构上，相同条件下量子阱混合产生的蓝移比完整外延结构更大，为后续工艺提供更宽的窗口。
由于相同退火条件下蓝移更大，达到目标蓝移所需的退火温度可以更低，有利于减少高温对材料性能的影响。
同样，达到目标蓝移所需的退火时间也更短，从而提升工艺效率。
该工艺需要的退火温度和退火时间均降低，因此整体工艺成本更低。