残余应力降46%
通过原位退火抑制抛光边界残余拉应力，大幅降低光学元件开裂风险。
Tianhao, Zhang · Zhao, Linjie · 程健 · 陈明君 · Yin, Zhaoyang · Tianyuan, Li · Zhang, Zixiao · 廖威 · Xiaodong, Yuan · Jiang, Xiaolong · Wang, Shengfei · 许乔
International Journal of Mechanical Sciences 2026
通过参数优化与原位退火，残余应力下降46%，显著降低抛光后开裂风险。
应力诱发断裂的临界裂纹尺寸增大245%，即使存在微缺陷也不易导致光学元件破坏。
原位退火策略同时缓解激光抛光引起的表面致密化，有助于保持面形精度。