多层介质光栅

抛光去缺陷不损性能

磁复合流体抛光后，光栅在保持衍射性能的前提下实现缺陷去除和表面粗糙度降低，并提升激光损伤阈值。

Hong, Xiaolan · Jiang, Chen · Ye, Hui · Shiwei, Xu · Jinxing, Jiang · 孙来喜

Optical Materials 2025

参数信息

皮秒光栅缺陷深度容限

1/10

飞秒光栅缺陷深度容限

1/8

技术优势

性能不降

当缺陷深度低于光栅脊高十分之一（皮秒光栅）或八分之一（飞秒光栅）时，磁复合流体抛光后的光学性能保持不变。

损伤阈值更高

磁复合流体抛光能有效减轻微结构缺陷，降低表面粗糙度，从而提升多层介质光栅的激光诱导损伤阈值。

脉冲压缩适配

对于 800 nm 飞秒光栅，缺陷深度保持在脊高八分之一以下即可在磁复合流体处理后仍适用于脉冲压缩。

应用场景

• 高功率激光系统：去除光栅缺陷，避免高功率激光下性能退化或损伤。
• 脉冲压缩光栅：保障抛光后脉冲压缩功能，用于飞秒激光系统。
• 激光损伤阈值：由于表面粗糙度降低，光栅损伤阈值提高。
• 衍射光学元件：提供抛光去除深度上限，保持衍射性能。