弱耦合双模真空传感器

宽量程高精度

通过模态局部化与谐振双模切换，在宽量程内保持高精度，且不受气体种类影响。

Jiaxin, Qin · 王军波 · Lu, Yulan · Xie, Bo · 陈健

Microsystems and Nanoengineering 2025

具体参数

Range

5 Pa

Mode-localized mode

3 Pa

Resonance mode

5 Pa

技术优势

体积小，不依赖气体类型