超快激光退火GST薄膜

反射率更高更均匀

该薄膜结合超快激光退火技术，可在大面积上实现高反射率和均匀结晶，有望提升相变存储器的性能。

Xuechen, Zhang · 吕静 · Jinlong, Xu · Liang, Xie · 张国栋 · 张中印 · 李淑娟 · 程光华

Optics and Laser Technology 2025

参数信息

反射率较单脉冲

31 %

激光诱导结晶能量窗口扩大

约2.4 倍

技术优势

突发模式下高均匀反射率区域直径为单脉冲的2倍

拉曼峰蓝移表明成核生长时间更充分