面积变化式MEMS加速度计

振动校正误差降低五倍

通过位移换能器与阻尼优化大幅抑制由边缘效应和机械偏移引起的二阶非线性,显著降低振动校正误差。

Zhang, Shaolin · Li, Zhi · 王秋 · Yuanxia, Yang · Yongzhen, Wang · 何闻 · 刘金全 · 涂良成 · 刘骅锋

Micromachines 2024

技术优势

非线性降5倍

通过对位移换能器和阻尼进行优化,二阶非线性系数从 mg/g 降至 g/g。

找出误差根源

频率相关非线性源于共振放大、边缘效应和平衡点偏移等多个因素的耦合。

振幅恒定误差不变

当激励位移幅值保持恒定时,振动整流误差保持不变,与频率无关。

应用场景