微杠杆耦合MEMS加速度计

灵敏度提升5倍

通过微杠杆耦合结构大幅降低谐振器间的耦合刚度，在相同条件下实现更高的振幅比灵敏度与更低的噪声。

Wang, Zheng · Xiong, Xingyin · 王坤峰 · Yang, Wuhao · BoWen, Wang · Li, Zhitian · 邹旭东

Sensors and Actuators, A: Physical 2023

参数信息

灵敏度（开环）
46.28 AR/g
灵敏度（闭环）
46.10 AR/g
噪声底
1.71 μg/√Hz
偏置不稳定性
1.6 μg

技术优势

耦合刚度可调低

通过优化锚点和微杠杆尺寸削弱能量泄漏，降低耦合刚度。

噪声显著更低

噪声底从4.39降至1.71 μg/√Hz，偏置不稳定性从4.27降至1.6 μg。

应用场景