悬臂梁量热式压差传感器

18.9 mPa 高分辨

采用悬臂梁量热元件的高灵敏度压差传感器,可显著提升水下机器人对流体动力信息的感知能力。

Ma, Zhiqiang · Kang, Hui · Weitai, Zhou · Hong, Ye · Zhang, Xingxu · 蔡军 · Jiang Y.

Microsystems and Nanoengineering 2026

参数信息

压差分辨率
18.9 mPa
重复性标准差
0.38 %
速度估计平均误差
2.9 mm·s⁻¹
偏航角估计平均误差
0.94 °
障碍物识别准确率
97.5 %

技术优势

压差分辨率高

传感器采用悬臂梁量热结构,灵敏度显著提升,水下压差分辨率达到18.9 mPa,优于现有隔膜式压差传感器。

测速测向准

集成到水下机器人模型后,该传感器阵列能同时估计速度和偏航角,平均误差分别为 2.9 mm·s⁻¹ 和 0.94°,适合用于导航控制。

障碍识别率97.5%

通过感知卡门涡街中的流体动力变化,传感器能以 97.5% 的准确率识别水下障碍物,为避障提供可靠数据。

应用场景