双轴高压阻加速度计

抗交叉干扰

针对武器侵彻与爆炸冲击等极端测量场景，采用拉压结构实现双轴高g检测，并设计了有效抑制串扰的信号调理电路。

王鹏 · Yujun, Yang · 陈曼龙 · 张昌明 · 王楠 · Yang, Fan · 彭春蕾

Micromachines 2023

参数信息

满量程

200,000 g

X方向灵敏度

1.39 µV/g

X方向固有频率

509.8 kHz

Y方向固有频率

510.2 kHz

技术优势

量程极高

满量程达200,000 g，覆盖侵彻、爆炸等极端冲击环境。

抗交叉干扰

根据悬臂梁应力变化特性设计了信号调理电路，有效降低双轴间的串扰。

高频响应

X、Y方向固有频率分别达509.8 kHz和510.2 kHz，适合捕捉快速冲击事件。

应用场景

• MEMS传感器：提供高量程MEMS加速度传感器芯片，可直接集成到测量系统中。
• 冲击与振动测量：用于高g冲击与振动测量，量程达200,000 g，覆盖极端冲击场景。
• 航空航天测试：适应航空航天测试中的高过载环境，双轴设计可用于多维加速度监测。
• 精密仪器：作为精密加速度测量传感器，可嵌入高端测试仪器中，提升动态测量能力。
• 爆炸冲击监测：专为爆炸冲击监测设计，200,000 g量程与高频响应确保捕捉瞬态冲击。