耦合硅微机械谐振器

Fano模式品质因数超3倍

利用静电耦合和反馈调控实现洛伦兹线型到Fano线型的可逆切换，为下一代高分辨率谐振传感器提供核心元件。

Xie, Yujue · Zhang, Manna · Rui, Wang · Wang, Lifeng · Huang, Qing'an

Physical Review Research 2025

参数信息

品质因数提升倍数

3 ×

技术优势

品质因数提升3倍

Fano谐振利用干涉产生的非对称线型，抑制背景，使品质因数比洛伦兹谐振高出三倍以上，传感器分辨率随之提高。

耦合强度可电调

两个谐振器之间的耦合强度和各自的刚度可以通过电压调节，从而控制谐振线型的形状。

阻尼可反馈调节

一个谐振器的阻尼可以通过外部比例反馈控制系统调节，这是实现洛伦兹到Fano线型切换的关键。

应用场景

• 高分辨率谐振传感器：利用Fano线型提高品质因数，提升传感器分辨率。
• 微机械传感：在微机械传感中通过电调耦合和阻尼实现线型控制。
• MEMS器件：提供可调耦合的MEMS谐振器芯片，便于集成。
• 力学系统物理研究：为研究力学系统中Fano共振提供灵活平台。