双模执行器快反镜

95 mrad大转角

一种双工作模式的快速转向镜，兼具大步进大角度输出和压电常规模式的高分辨率。

李欣 · Jing, Zijian · Jin, Wang · Fanhui, Meng · Han, Li · Xie, Zongliang · Jin, Luo · 毛耀 · 齐波

Sensors and Actuators, A: Physical 2025

参数信息

转角

>95 mrad

分辨率

0.38 μrad

固有频率

>440 Hz

最大跟踪误差

1.4 μrad

技术优势

转角够大

通过双模执行器的变形工作模式，以步进方式累积运动，双轴转角均超过95 mrad，大幅扩展了指向范围。

分辨率高

线性工作模式继承了传统压电快反镜的精密驱动能力，在0.5 V电压增量下分辨率达0.38 μrad，满足精细跟踪需求。

响应不慢

固有频率始终超过440 Hz，保证了对指令的快速响应，适用于动态光束控制。

跟踪误差小

在轨迹跟踪控制中，最大跟踪误差约为1.4 μrad，闭环精度高。

应用场景

• 精密光机：同时实现大转角和微弧度级分辨率，简化光机系统设计。
• 光束控制：95 mrad以上转角扩大光束指向范围，440 Hz带宽支持快速扫描。
• 激光通信终端：高分辨率（0.38 μrad）与低跟踪误差满足激光链路精对准需求。
• 机载光学载荷：高固有频率（>440 Hz）和紧凑双模驱动适应机载振动环境与轻量化要求。