激光改性多晶金刚石衬底

抛光效率翻倍

高-低通量双步激光预处理生成软化的改性层，使后续机械抛光效率较原始样品提升2.1倍。

袁菘

Journal of Materials Processing Technology 2026

参数信息

改性层表面粗糙度

0.33 μm

材料去除率

24.7 μm/h

未处理样品

2.1 倍

技术优势

改性层硬度降低