F型导向顺应定位平台

寄生运动耦合<0.95%

F型直线导向机制有效抑制寄生运动，兼顾高自然频率，实现精准直线运动。

Li, Yitong · 叶婷婷 · 凌杰 · 肖晓晖 · 冯朝

Precision Engineering 2024

参数信息

耦合率

0.95 %

自然频率

856.9 Hz

技术优势

横向刚度提升

单个F型导向机构具有简单紧凑的结构，能够增强横向刚度，从而抑制寄生运动。

寄生运动受抑

四个F型导向机构对称并联布置，理论上消除了寄生运动，实验测得耦合率低于0.95%。

应用场景

• 精密定位：提供低耦合的直线运动，用于精密定位场合。
• 微纳操作：高精度运动支持微纳尺度操作。
• 精密运动控制：减小寄生运动，简化控制策略。
• 光学对准：提供稳定直线运动，用于光学元件对准。