碳氟-钛复合膜

二次电子发射降六成

通过共溅射PTFE和钛,在铝表面构筑氟碳-钛复合膜,借助微纳峰谷结构和富氟表面抑制二次电子发射,显著降低微波器件中的倍增放电风险。

王飞鹏 · He, Jie · Zhao, Qi · 张志成 · 张晓

ACS Omega 2024

参数信息

最大二次电子发射系数
1.23

技术优势

峰值降六成

功率比2时形成的峰谷结构将最大二次电子发射系数从2.99拉低至1.23。

氟富集陷阱电子

高F/C摩尔比增强电子俘获能力,进一步抑制二次电子发射。

应用场景