低缺陷低污染
通过CO2辅助CVD制备的石墨烯,在降低成核能垒的同时解决了传统工艺中固有的污染问题,可获得少层、大畴、低缺陷的薄膜。
72401644 · Tianyi, Qi · Qi, Hao · Di, Yiming · Mengzhu, Li · Yi, Jia · 金鑫 · 臧晓蓓
Chemical Engineering Journal 2024
CO₂的引入降低了石墨烯成核能,使高质量生长更容易实现。
传统CVD高温过程会引入污染,CO₂辅助工艺把这个问题解决了。
制备的石墨烯与锗构成的肖特基光电探测器实现了1550 nm探测。