单晶AlN种子层

去极化界面损耗

以单晶AlN种子层生长的ScAlN薄膜具有高c轴取向，移除种子层后彻底消除极性反转界面，使谐振器有效机电耦合系数翻倍。

Yang, Tingting · Xu, Qinwen · Yaxin, Wang · 蔡耀 · 李海洋 · Yupeng, Zheng · Zeng, Min · 李磊 · Gao, Chao · Xiyu, Gu · Lin, Binghui · 国世上 · 雷诚 · 刘胜 · 孙成亮

Nature Communications 2026

具体参数

有效机电耦合系数从

6.0 %

滤波器中心频率

6.4 GHz

技术优势

谐振器最高品质因数达736