36.5 mPa 探测限
采用量热式原理和多层聚酰亚胺键合技术，集成超疏水封装，可在弯曲表面上实现高分辨率防水压力传感。
Xin, Ke · 高宇 · Gong, Zheng · Dong, Zihao · 郭雨润 · Jiang Y.
Microsystems and Nanoengineering 2025
量热式差压测量把检测限压到 36.5 mPa，比常规柔性压力传感器低一个量级。
多层聚酰亚胺键合工艺让传感器贴在变曲率表面仍保持高重复性，不用找平面安装。
超疏水封装集成在制造流程里，雨雾或高湿环境下传感器仍能正常出数。
配合多层感知机网络，空速估计平均误差 0.15 m/s，攻角平均误差 0.37°，达到实用水平。