单帧实现高精度测量
利用涡旋光束的螺旋相位分布实现同步空间相移，无需波片或压电陶瓷驱动器，即可在单帧干涉图中获取多步相移信息，适用于微光学元件的表面形貌测量。
Liu, Bingcai · Yi-Meng, Xue · Mengyao, Li · Zhu, Xueliang · 潘永强 · 田爱玲 · Li, Shijie · 徐金涛
Optics and Lasers in Engineering 2025
利用涡旋光束的相位分布实现空间相移，替代波片或压电陶瓷驱动器等传统相移器件，简化系统结构。
通过二维相位光栅将物光分为四束，与涡旋参考光的不同区域干涉，在单张全息图中同时获得多个相移全息图。
与白光干涉仪相比，相位分辨率板纵向高度测量相对误差2.01%，验证了该方法用于微光学元件轮廓测量的有效性。