悬浮石墨烯NEMS加速度计

高良率长寿命

以1微米宽沟槽悬浮的双层石墨烯为传感元件，配合SiO2/Si质量块实现压阻式加速度检测，解决了石墨烯NEMS加速度计良率与寿命不足的实用化瓶颈。

Ding, Jie · Chang, He · Hongliang, Ma · 张文东 · Fan, Xuge

Microsystems and Nanoengineering 2025

具体参数

沟槽宽度
{'zh': '1', 'en': '1'} µm

技术优势

沟槽宽度仅1 µm

悬浮石墨烯膜的沟槽宽度仅为1 µm，有利于器件小型化和集成。

全固支双层石墨烯

采用全固支双层石墨烯膜作为传感元件，提升结构稳定性。

高制造良率

器件制造良率高，利于批量生产。

长寿命

器件具有长寿命，适合长期使用。

应用场景