带电空位AlN薄膜

压电系数提高

通过引入带电空位，AlN薄膜的弹性和压电性能得到有效提升，为MEMS器件提供性能更好的压电材料。

Qiaoya, Lv · Qiu, Jian · Wen, Quan

International Journal of Optomechatronics 2024

技术优势

模量降低

带电空位使AlN的杨氏模量低于本征AlN，表明弹性性能得到改善。

d33大幅提升

在特定带电空位构型下获得了高压电系数d33，源于非对称电荷分布。

应用场景

• MEMS执行器：更低模量提升悬臂梁灵敏度，增强执行器位移输出
• MEMS传感器：更高d33提升电荷响应，增强传感器分辨率
• 柔性压电器件：模量降低利于柔性集成，耐受形变
• 压电生物传感器：更高d33提升灵敏度，改善微弱信号检测