吸气速度提升25%
用Ti替代ZrCoCe作阻挡层，ZrCoCe吸气薄膜的初始吸气速度和吸气量显著提升，同时与Ge衬底的结合力增强，更适用于MEMS真空器件。
熊玉华 · Wu, Huating
Materials 2023