Ti阻挡层吸气薄膜

吸气速度提升25%

用Ti替代ZrCoCe作阻挡层，ZrCoCe吸气薄膜的初始吸气速度和吸气量显著提升，同时与Ge衬底的结合力增强，更适用于MEMS真空器件。

熊玉华 · Wu, Huating

Materials 2023

具体参数

增至

{'zh': '176', 'en': ''} cm³·s⁻¹·cm⁻²

增至

{'zh': '289', 'en': ''} Pa·cm³·cm⁻²

衬底结合力

{'zh': '171', 'en': ''} mN