磁性核壳磨料

可磁分离回收

兼具磁性与弹性的核壳结构氧化铈磨料，可在磁场下快速分离回收，提升抛光工艺经济性。

姜胜强 · Liuqing, Liu · Can, Zhang · Tai, Zeng · Xu, Li · Ye, Yixuan · Mei, Ming · Yuekai, Liu · 徐志强

Materials Chemistry and Physics 2026

技术优势

磁场下快速分离

磨料核为Fe₃O₄，具备超顺磁性，在外加磁场下数秒内即可从分散液中聚集分离，便于回收后重复使用。

合成方法简单可重复

采用无皂乳液聚合结合原位化学沉淀法，无需复杂设备，过程可控，适合批量制备。

应用场景

• 抛光磨料：用于替代传统一次性磨料，在抛光后磁分离回收，降低磨料耗材成本。
• 半导体晶圆抛光：用于晶圆化学机械抛光，抛光后磁分离去除磨料，避免残留颗粒影响后续制程。
• 精密表面加工：用于精密表面加工，弹性PS层可减少表面划伤，且磨料回收利用降低加工成本。