双向运动单信号独立激励
定子采用中空对称结构，简化导轨与预压机构，仅用一路正弦信号激励同阶振动即可实现双向运动。
李璟 · Fang, Che · 邓杰 · 陈维山 · 刘军考 · 刘英想
International Journal of Mechanical Sciences 2023
仅用一路正弦信号激励两组薄壁梁的同阶振动，分别实现正反向运动，有利于双向运动特性一致。
中空对称定子使四个驱动足在两端周向安装，简化了导轨和预压机构，有利于进一步小型化。
正向运动分辨率达到 0.5 μm，反向 0.7 μm，适用于精密定位任务。