0.015%FS精度
采用膜片弯曲与体积压缩复合压敏机制，差频输出实现温度自补偿，兼顾大量程与高精度。
Pan, Qian · Yu, Zongze · 于杰 · Lu, Yulan · Xie, Bo · 陈健 · 陈德勇 · 王军波
Microsystems and Nanoengineering 2024