高温绝缘超稳定
在950°C下绝缘电阻比单/双层膜高两个数量级，且经多次热循环不失效，解决了TiN/Ti(C,N)/Al2O3陶瓷膜在高温下因TiO2形成导致的绝缘退化问题。
Huang, Yunwei · Li, Xin · 李川 · Qiang, Luo · Ji, Yaqiang · Yin, Tao · 龙建宇
Ceramics International 2026
三层结构在950°C下电阻为3.5×10⁶Ω，是单层和双层膜的80倍以上，显著提升高温绝缘性能。
三层膜在热循环测试中保持稳定，而单层和双层膜在3-4次循环后失效。
三层结构表面Ti含量仅为0.45wt%，远低于单层（44.29wt%）和双层（4.39wt%），表明TiO2向表面的扩散得到有效抑制。