PMN-PT压电薄膜

0.62μm最优压电响应

通过厚度调控微结构，在0.62 μm处平衡取向与电学性能，获得最强压电响应，适用于微型传感器集成。

Zongqiang, Ren · Zhao, Yiming · 钟力生 · Fan, Wu · Li, Linglong · 吴明 · 高景晖

Journal of Alloys and Compounds 2025

具体参数

有效压电系数 d33*

91 pm/V

薄膜厚度

0.62 μm

技术优势

压电响应最强

0.62 μm厚的薄膜有效压电系数d33*达到91 pm/V，为四种厚度中最优。

取向与电学性能平衡

厚度增加虽使择优取向从(100)转向(110)而削弱极化，但介电频率稳定性和绝缘性提高；0.62 μm处实现了最佳综合性能。

厚度可精确控制

通过溶胶-凝胶法将薄膜厚度精确控制在0.32、0.62、1.07、1.29 μm，便于针对特定器件需求选用。

应用场景

• 微型传感器：将0.62 μm厚PMN-PT薄膜用作传感器压电层，凭其最高d33*提升灵敏度。
• 柔性压电器件：该薄膜在微米级厚度仍保持高压电响应，可集成于柔性基底实现能量收集。
• MEMS执行器：利用其91 pm/V的压电系数驱动微执行器位移，提升驱动效率。
• 电子皮肤：厚度薄且压电响应强，适合作为电子皮肤的触觉感知压电层。