图案化电极TENG位移传感器

0.1 mm全量程高分辨

通过电极图案化设计实现电荷空间调控，克服传统TENG传感器灵敏度与量程的权衡，可用于气动执行器无源自定位。

Tenghong, Su · Xiao, Lei · Xinjie, Zhao · 李建平 · 胡意立 · 马继杰 · Ya, Li · Yingting, Wang · 温建明

Chemical Engineering Journal 2025

参数信息

分辨率

0.1 mm

技术优势

量程与分辨率兼得

图案化电极实现电荷空间调控，在0–100 mm全量程保持0.1 mm分辨率。

无需外部电源

基于TENG的自驱动原理，传感器工作时不需要电池或外部供电。

可拓展到多种运动部件

模块化设计使其可扩展到多自由度机械臂定位与气动肌肉闭环控制。

应用场景

• 自驱动位移传感：无需外部电源即可实现高精度位移测量，适合无线传感节点。
• 气动执行器定位：为气动执行器提供无源位置自检测，实现闭环控制。
• 工业设备监测：可实时监测工业设备运动部件位置，提高智能化水平。
• 机器人关节位置反馈：模块化设计可集成于机器人关节，提供位置反馈。