低温CVD单层MoS2

460°C 生长不损质量

该单层MoS2通过钾盐辅助前驱体和种子促进剂实现460°C低温生长,突破了传统700°C以上的温度限制,且材料质量未受影响。

Liao, Congwei

ACS Omega 2025

技术优势

生长温度460°C(传统需超过700°C)

在蓝宝石和SiO2/Si衬底上均适用

AFM、拉曼、光致发光和电输运测量证实高质量