低噪声高灵敏
采用气溶胶沉积PZT敏感层，在低频段实现高电荷灵敏度和低噪声等效加速度。
Gong, Xuewen · Chen, Yu Kuo · Zhou, Guodong · Wu, Wen Jong Jeremy · 廖维
Microsystems and Nanoengineering 2023
在20 Hz处噪声等效加速度仅为5.6 μg/√Hz，远低于商用低噪声加速度计ADXL1001。
采用气溶胶沉积制备的厚PZT薄膜，电荷灵敏度达到22.74 pC/g。
工作带宽为10–200 Hz（±5%偏差内），覆盖结构健康监测常用频段。
在风扇振动测量中，自制传感器与商用压电加速度计输出结果高度一致。