超窄AlN PMUT阵列

宽带高灵敏

专为可穿戴超声成像设计,通过互辐射阻抗模型优化阵元布局,在缩小孔径的同时兼顾灵敏度、带宽与声场均匀性。

Xu, Xingli · Wanli, Yang · Wang, Zhuochen · Xiaohua, Jian · Wang, Xiaochun · Zhou, Sheng · 庞慰 · 牛鹏飞

Microsystems and Nanoengineering 2026

参数信息

脉冲回波分数带宽
60 %
图像对比度
50 dB
横向分辨率
0.26 mm
轴向分辨率
0.25 mm
阵列尺寸
1 cm

技术优势

可穿戴更舒适

阵列仰角孔径通过声束形成优化后缩减至0.15 cm,整体尺寸仅1 cm×0.15 cm,刚性硅基换能器的集成度和可穿戴性得到提升。

成像更清晰

超窄阵列实现了约0.26 mm的横向分辨率和约0.25 mm的轴向分辨率,图像对比度约50 dB,可对颈动脉、甲状腺等浅表器官进行实时清晰成像。

设计更可靠

互辐射阻抗数学模型可以在制造前预测阵列中每个单元的振动幅度,指导优化布局,同时提升灵敏度、带宽和声学均匀性。

应用场景