氧化中熵合金MEMS气敏传感器

H₂/CO双气体高选择性

采用FeCoNi氧化中熵合金作为气敏材料,集成微加热器,在150°C下对H₂和CO具有高选择性,并通过脉冲加热模式实现低功耗智能识别。

颜文俊 · 刘云 · Yan, Bai · Yulong, Chen · 周后盘 · Waqar, Ahmad

ACS Applied Materials & Interfaces 2024

参数信息

H₂检测限
0.3 ppm
CO检测限
0.29 ppm

技术优势

H₂和CO高选择性

基于O-MEA对H₂/CO的特异性催化放热反应,传感器在150 °C下能有效区分H₂和CO,避免交叉干扰。

脉冲模式降低功耗

微加热器在脉冲操作模式下能瞬时改变温度,避免持续加热,显著降低传感器的工作温度和能耗。

多变量信号提升识别能力

脉冲加热模式下传感器输出多变量响应信号,通过GAF转换为二维图像并结合CNN建模,实现了对H₂和CO的高效智能识别。

应用场景