共面集成LGS多参量传感器

三参量集成，宽域稳定

温度、压力、湿度传感功能集成于单一LGS基底，MXene@MoS2@GO复合膜提升湿度检测范围与灵敏度。

Liang, Xiaorui · 张蕾 · 谭秋林 · He, Dan · Liu Li Shuang, · Jing, Lin · 熊继军

Microsystems and Nanoengineering 2023

具体参数

Operating range C

{'zh': '', 'en': '-700'} kPa

技术优势

温度、压力、湿度三参量同时测量

湿度响应时间3.18秒，恢复时间0.94秒