纳米裂纹电子胡须传感器

纳牛级力分辨

将仿生机械传感器的力检测分辨率从微牛级拓展到纳牛级，首次实现体表重力场方向感知。

张驰 · Wu, Mengxi · 李明 · Che, Lixuan · Tan, Zhiguang · 国地 · 亢战 · Zhang, Siqi · Sui, Yu · Sun, Jining · 王立鼎 · 刘军山

Microsystems and Nanoengineering 2023

参数信息

力检测分辨率

72.2 nN

表面形貌识别高度

30 nm

技术优势

分辨率达纳牛级

基于纳米裂纹的电子胡须式传感器，力检测分辨率达72.2 nN，能感知微小物体和气流等微弱刺激。

表面形貌识别达30 nm

该传感器可识别低至30 nm高度的表面形貌，是目前仿生机械传感器中的最高分辨率。

首次可穿戴感知重力方向

首次在可穿戴设备中实现对重力场方向的感知，可集成到智能系统中监测身体姿态和运动。

应用场景

• 可穿戴姿态监测：可穿戴系统远程监测老年人跌倒等身体姿态变化。
• 电子皮肤触觉传感：纳米级触觉感知用于电子皮肤感知微小物体和气流。
• 人机交互界面：可用于人机交互中的力反馈和重力方向操控。
• 假肢触觉反馈：为假肢提供高灵敏触觉反馈，改善抓握。