气泡微腔光纤触觉传感器

高分辨且抗电磁干扰

用光纤气泡微腔替代电学敏感单元，柔性触觉测量不再受电磁干扰限制。

Yanying, Cheng · 陶鹏程 · Haoran, Zhang · Zichao, Geng · Hongguang, Hu · Runze, Hou · Yike, Duan · Xu, Jintao · 蒋兰兰 · 于清旭 · 周新磊

Sensors and Actuators, A: Physical 2025

参数信息

灵敏度

30.34 nm/N

分辨率

0.003 N

线性范围

0-0.98 N

技术优势

抗电磁干扰

采用光纤传感原理，对电磁干扰不敏感，适用于电磁环境复杂的场合。

柔性测量

光纤气泡微腔封装在 PDMS 中，传感器整体可弯曲，能适应非平面表面。

易制备低成本

利用电弧放电法熔接毛细管形成气泡微腔，制作简单，成本低廉。

应用场景

• 精密力测量：利用高灵敏度与高分辨率测量微小力。
• 柔性触觉感知：可弯曲贴附，用于柔性触觉感知。
• 可穿戴健康监测：集成到可穿戴设备监测人体生理信号。
• 光纤传感：利用光纤干涉原理实现抗电磁干扰的力测量。