双模微机械谐振器

温度自补偿

通过双模色散解耦实现实时同步频率读出,使谐振式压力传感器在无需额外温度传感器的情况下即可实现原位温度补偿。

Wenliang, Xia · Qin, Jiaxin · Lu, Yulan · 陈德勇 · 王军波 · Xie, Bo · 陈健

Microsystems and Nanoengineering 2026

具体参数

Fitting accuracy
0.009 %
最大重复性误差
0.0042 %
最大压力迟滞误差
0.0068 %
Overall pressure accuracy
0.012 %