双端音叉谐振压力传感器

高灵敏差分传感

采用差分双端音叉结构抑制电磁干扰与寄生馈通，同时优化谐振器设计以消除模式串扰，实现高灵敏度与高稳定性兼顾的压力测量。

Wei, Liu · Xiaowei, Li · Xiaolong, Zhao · 李东玲 · Wen, Quan

Sensors and Actuators, A: Physical 2026

参数信息

差压灵敏度

174.933 Hz/kPa

重复性误差

0.16 % F.S.

中心谐振器频率

114.689 kHz

侧谐振器频率

115.146 kHz

技术优势

抗电磁干扰

差分结构可同时抵消电磁干扰和寄生共模馈通，使输出更干净。

无模式串扰

优化后的谐振器结构消除了模式串扰，从而提升频率稳定性。

准数字输出

振动信号可直接电测读出，无需额外模数转换。

应用场景

• MEMS压力传感：为MEMS压力传感器提供高灵敏度的差分检测核心。
• 精密仪器与测量：作为准数字输出的敏感元件，简化精密测量系统的信号链路。
• 工业物联网传感器：其高稳定性和直接电学读出适合工业物联网中的远程压力监测。
• 航空压力监测：抗电磁干扰特性使其能用于航空电子环境中的压力监测。