非线性参量MEMS力传感器

电荷灵敏度39.5 ppm/fC

通过监测参量孤立分支上鞍结分岔的频移，在分岔湮灭前实现力灵敏度的显著增强，并用电荷传感器验证了概念。

Xu, Yutao · Yang, Qiqi · Jiahao, Song · 韦学勇

Microsystems and Nanoengineering 2024

具体参数

电荷灵敏度高

39.5 ppm/fC

技术优势

电荷灵敏度显著超越现有谐振式电荷传感器