真空封装微石英音叉

高Q值低成本

真空封装使音叉获得约19840的品质因数，尺寸小且抗干扰，适合构建低成本高灵敏光热探测器。

Xu, Linguang · 周胜 · 李劲松

Sensors and Actuators, A: Physical 2024

参数信息

品质因数

19840

共振频率

32763 Hz

NO2测量精度

117 ppb

技术优势

品质因数高

真空封装避免空气阻尼，品质因数达19840，提高光热探测灵敏度。

真空封装抗干扰

真空封装结构不易受外界环境影响，系统集成简单，适合现场部署。

器件尺寸小

微石英音叉尺寸小，便于集成到便携式气体检测设备中。

应用场景

• 光热光谱气体传感：利用高Q值音叉检测光热信号，提升气体传感灵敏度。
• 痕量气体检测：实现NO2等痕量气体的高精度检测，精度达117 ppb。
• MEMS谐振器：真空封装提高MEMS谐振器品质因数，改善性能。
• 环境监测：检测大气中NO2浓度，用于空气质量监测。