灵敏度翻倍
通过微沟槽集成微电极减小阴阳极间距并增大阴极面积,同时引入力平衡负反馈,显著拓宽工作频带。
Zhang, Honghao · Lu, Yulan · 刘清华 · 孙振宇 · Gou, Guangyang · 陈德勇 · 王军波
Microsystems and Nanoengineering 2025
−3dB带宽比现有器件更宽