激光结构化碳化硅

表面质量最优

采用线性图案激光表面处理，在自旋转磨削中获得优于环形和网格图案的表面质量，为碳化硅精密晶圆加工提供了新选择。

秦飞

Materials Science in Semiconductor Processing 2026

技术优势

线性图案表面质量优于环形和网格图案

与环形和网格图案相比，切屑积累程度较低