MEMS电容加速度计

室温储存一年漂移稳定

针对室温长期储存引起的封装应力释放，该器件在约10个月后标度因数漂移趋于稳定（每月小于50 ppm），解决了MEMS加速度计在存储期间的性能漂移问题。

Peng, Peng · 周吴 · Li, Lun · 何江波 · 彭倍 · 于慧君 · He, Xiaoping

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

标度因数漂移

约2500 ppm

每月

<50 ppm

每月

<1 mg

技术优势

偏置漂移范围12至32 mg