超薄石墨烯霍尔传感器

无封装柔性高灵敏

该传感器采用6-μm聚酰亚胺衬底，无需栅压调制或封装即可实现高灵敏度磁场检测，且在弯折下保持电学性能稳定。

Tian, Jinpeng · Junqi, Huang · Wang, Man · Keqing, Yu · Hu, Guo · Wenchao, Luo · Yinghui, Dong · Yizhe, Wang · Zhixing, Zhang · 张文蔚 · 王程 · Jia, Yuan

ACS Applied Materials & Interfaces 2024

具体参数

磁场线性响应范围
{'zh': '25', 'en': '25'} mT
电流归一化灵敏度
{'zh': '140', 'en': '140'} V AT⁻¹
衬底厚度
{'zh': '6', 'en': '6'} μm

技术优势

无需栅压调制

传感器在无栅压调制的条件下仍保持高灵敏度，简化了器件结构和操作。

无需封装即可稳定工作

即使在常见柔性石墨烯霍尔传感器需要封装的场景下，该器件也能保持性能，降低了集成难度。

弯折下电学稳定

得益于6 μm超薄衬底，传感器在应变下仍保持稳定电学特性。

应用场景