飞秒激光改性4H-SiC表面

改善加工性能

通过表面改性和周期性结构降低脆性，切削更顺滑。

黄宇华 · Zhou, Yuqi · Li, Jinming · 朱福龙

Applied Surface Science 2023

参数信息

摩擦系数

0.2

反冲流速

1.2 m/s

峰值温度

8000 K

技术优势

摩擦系数稳定在0.2

无论施加多大轴向载荷，改性表面的摩擦系数都稳定在0.2左右，这使得切削过程更可预测，刀具磨损更小。

切削轮廓保形且更深

改性表面的划痕轮廓呈保形且深度更大，表明材料去除更连续，加工质量更高。

无需特殊环境

飞秒激光改性在常规大气环境下即可进行，不需要真空或高温设备，降低了工艺门槛和成本。

应用场景

• 先进陶瓷加工：让碳化硅等硬脆陶瓷更容易切削和磨削。
• 激光微纳制造：用激光诱导周期性结构实现表面功能化。
• 精密加工：改善切削力稳定性，提高零件表面质量。