双换能器超声悬浮台

非接触转向输送

一种弧形板双换能器平台，利用弯振模态实现悬浮物体的方向控制，无需机械接触即可完成转向输送。

Mu, Guanyu · Guangshun, Wu · Liya, Yang · Yingjie, Liu · 董惠娟 · Grattan, K. T. V. · 赵杰

International Journal of Mechanical Sciences 2025

参数信息

最大转向速度

37.9 °/s

转向半径

500 mm

技术优势

速度可程序调控

通过改变两个换能器之间的时间相位差来调节驻波比，进而精确控制悬浮物体的移动速度。

适应复杂环境

弧形双换能器支撑结构紧凑，可适应复杂或受限的工作环境，扩展超声输送的应用场景。

应用场景

• 半导体晶圆传送：非接触转向避免污染，适合晶圆传送。
• 精密零件输送：弯振模态精确控制运动，适合精密零件。
• 非接触操控机器人：可程序化调节速度和方向，用于非接触操控机器人。