双介电层离子电子压力传感器

灵敏度超7万kPa⁻¹

通过高低介电常数层集成,在单一器件中同时实现超高灵敏度与宽量程压力检测,并可解耦温度与压力信号。

Jianyu, Pu · 宁慧铭 · Zhao, Hui · Yafeng, Liu · 龚兴龙 · Li, Chuang · 张同华 · 王姝

Advanced Materials 2025

具体参数

灵敏度
72548.7 kPa⁻¹
Working pressure range
420 kPa
检测限
0.832 Pa
耐久性
5000 次
无声语音识别准确率
98.5 %