灵敏度超7万kPa⁻¹
通过高低介电常数层集成,在单一器件中同时实现超高灵敏度与宽量程压力检测,并可解耦温度与压力信号。
Jianyu, Pu · 宁慧铭 · Zhao, Hui · Yafeng, Liu · 龚兴龙 · Li, Chuang · 张同华 · 王姝
Advanced Materials 2025