聚合物衍生SiBCN陶瓷

耐高温亚微米精度

一种可双光子打印的陶瓷前驱体，热解后得到迄今最小的SiBCN微结构。

Yanpei, Dang · Zhao, Xu · Yeung, Kawai · Zhu, Zhanchen · Sun, Jiaqi · To, S. · ChakYin, Tang · Song, Yujie · Ruan, H. H.

Additive Manufacturing 2025

参数信息

陶瓷产率

76 wt%

特征线宽

700 nm

压缩强度

3.59 ± 0.08 GPa

技术优势

热解产率高

前驱体因丙烯酸酯接枝和交联度提高，陶瓷产率达76 wt%，打印后热解能保留较多物质，减少收缩和缺陷。

打印精度高

通过双光子光刻，可直接制备线宽约700 nm的复杂SiBCN微结构，是迄今报道的最小尺寸，适合精细器件。

强度高

打印的SiBCN微柱压缩强度达3.59±0.08 GPa，在微尺度下具有优异的力学性能，可用于承载结构。

应用场景

• 微纳制造：直接打印亚微米复杂结构，免去传统微加工的多步刻蚀。
• 高温陶瓷：材料本身耐高温，可作高温模具或结构件。
• 3D打印：前驱体可双光子打印，实现复杂三维陶瓷结构。
• 增材制造：通过热解转化陶瓷，扩展增材制造的材料体系。