Pt薄膜热探测器

850°C 线性测温

在SiC衬底上引入Al2O3过渡层，实现Pt薄膜热探测器在850°C以上的高温线性响应，可直接集成于SiC高温压力传感器进行原位温度补偿。

赵虎

Microsystems and Nanoengineering 2024

技术优势

耐受温度超过 850 °C，并保持良好的线性度

Al2O3/Pt 双层界面在约 950 °C 下保持稳定

复合层在高达 950 °C 下与衬底牢固附着